為考慮半導(dǎo)體設(shè)備加工工藝的耍求，集成電路無塵車間是一間潔凈室。試驗(yàn)室清潔無菌檢測實(shí)驗(yàn)室-清潔試驗(yàn)室-微生物安全實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)規(guī)劃包含：工程建筑合理布局和室內(nèi)裝修、空調(diào)系統(tǒng)、給水排水、汽體供貨、電氣設(shè)計(jì)、集中控制系統(tǒng)、智能安防、施工技術(shù)、檢驗(yàn)、學(xué)習(xí)培訓(xùn)等多方面內(nèi)容。無塵車間施工對自然環(huán)境潔凈度等級、溫濕度、震動、靜電放電、AMC操縱等有一定的耍求。與別的工業(yè)生產(chǎn)潔凈室對比，集成電路生產(chǎn)制造無塵車間具備總面積大、清理級別高、溫濕度線性度高等學(xué)校特性。

依據(jù)潔凈室的氣體循環(huán)特點(diǎn)，潔凈室可分成三種種類：含有高效率氣路系統(tǒng)軟件的循環(huán)中央空調(diào)，帶濕密封性系統(tǒng)軟件的循環(huán)電扇和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

第一種方式普遍用以小規(guī)模納稅人和適度性耍求需要的無塵車間工程施工設(shè)計(jì)方案。針對大規(guī)模和高質(zhì)量的清理生產(chǎn)車間，存有例如高運(yùn)作成本費(fèi)和過多室內(nèi)空間的缺陷。

第二方式的工程施工設(shè)計(jì)方案能夠 考慮大規(guī)模高端集成電路生產(chǎn)制造無塵車間的耍求，但運(yùn)作成本增加，潔凈室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難，系統(tǒng)更新艱難，實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力極低。
第三個FFU循環(huán)系統(tǒng)不但節(jié)約了實(shí)際操作室內(nèi)空間，安全系數(shù)高，運(yùn)作低成本，實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力高，并且能夠 隨時隨地更新和調(diào)節(jié)，不危害制造。為考慮半導(dǎo)體設(shè)備的必須，半導(dǎo)體材料加工制造業(yè)中的FFU循環(huán)系統(tǒng)逐步形成最關(guān)鍵的清潔工程施工設(shè)計(jì)方案。

FFU循環(huán)系統(tǒng)的特性是：全部潔凈室由負(fù)壓層、加工工藝輔助層和送風(fēng)安全通道構(gòu)成。FFU出示循環(huán)氣體的驅(qū)動力。將空氣清新和循環(huán)氣體混和后，根據(jù)超高效送風(fēng)口將空氣清新和循環(huán)氣體送進(jìn)加工工藝層和加工工藝輔助層，負(fù)壓層相對性于加工工藝層為空氣壓力。除此之外，還有一個集成電路生產(chǎn)制造機(jī)器設(shè)備的制造輔助區(qū)，包含開關(guān)電源、汽體和有機(jī)化學(xué)供貨、超純水系統(tǒng)供貨等。

集成電路的生產(chǎn)制造對無塵車間施工的自然環(huán)境操縱有嚴(yán)苛的耍求。不一樣的加工工藝全過程對潔凈度的耍求也不一樣，比如，光刻工藝耍求在一環(huán)節(jié)的微自然環(huán)境中開展光刻，而有機(jī)化學(xué)研磨拋光只必須1000級的自然環(huán)境。

除此之外，集成電路生產(chǎn)制造清理生產(chǎn)車間對噪音，震動，照明燈具等有獨(dú)特的要求和耍求，尤其潔凈室總體設(shè)計(jì)中務(wù)必耍求的震動操縱。

優(yōu)良的無塵車間工程施工設(shè)計(jì)方案，不但能節(jié)約資源，減少運(yùn)作成本費(fèi)，降低人力資源資金投入，并且為制造出示可以信賴的確保。在三種清理系統(tǒng)軟件中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)作成本費(fèi)最少，潔凈度和安全系數(shù)最大。因而，在集成電路潔凈車間中，多選用FFU循環(huán)系統(tǒng)。潔凈度等級耍求越高，溫濕度線性度越高，潔凈室的項(xiàng)目投資和運(yùn)作成本費(fèi)越高。因而，在自然環(huán)境潔凈度或溫濕度耍求相對性較低的狀況下，在較高的潔凈度等級或溫濕度操縱地區(qū)布局一些核心技術(shù)機(jī)器設(shè)備是IC生產(chǎn)制造凈化車間的工程施工設(shè)計(jì)方案發(fā)展趨勢。